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F 機械工程、照明、加熱
G 物理
H 電學
分類號 描述
H 電學
H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L21-77 ..在公共襯底中或上面形成的由許多固態元件或集成電路組成的器件的制造或處理
H01L21-78 ...把襯底連續地分成多個獨立的器件

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