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H 電學
分類號 描述
H 電學
H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-673 ..使用專用的載體的
H01L21-677 ..用于傳送的，例如在不同的工作站之間
H01L21-68 ..用于定位、定向或對準的
H01L21-683 ..用于支承或夾緊的

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