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主分類

A 農(nóng)業(yè)

B 作業(yè)；運(yùn)輸

C 化學(xué)；冶金

D 紡織；造紙

E 固定建筑物

F 機(jī)械工程、照明、加熱

分類號(hào)	描述

H	電學(xué)

H01	基本電氣元件		查看

H01L	半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件		查看

H01L21-00	專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備		查看

	H01L21-02	.半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理	查看

	H01L21-64	.非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理	查看

	H01L21-66	.在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量	查看

	H01L21-67	.專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置	查看

	H01L21-70	.由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造	查看

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