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主分類
A 農業
B 作業；運輸
C 化學；冶金
D 紡織；造紙
E 固定建筑物
F 機械工程、照明、加熱
G 物理
H 電學
分類號 描述
G 物理
G03 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設備
G03F1-00 用于圖紋面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其專門適用于此的容器；其制備
G03F1-20 .用于通過帶電粒子束(CPB)輻照成像的掩膜或空白掩膜，例如通過電子束；其制備
G03F1-22 .用于通過100nm或更短波長輻照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射線掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制備
G03F1-36 .具有臨近校正特征的掩膜；其制備，例如光學臨近校正(OPC)設計工藝
G03F1-38 .具有輔助特征的掩膜，例如用于校準或測試的特殊涂層或標記；其制備
G03F1-50 .未包含在G03F 1/20-G03F 1/26組中的空白掩膜；其制備
G03F1-52 .反射鏡
G03F1-54 .吸收劑，例如不透明材料
G03F1-60 .基板
G03F1-62 .薄膜或薄膜集合，例如在支持框架上具有薄膜；其制備
G03F1-66 .專門適用于掩膜，空白掩膜或薄膜的容器；其制備
G03F1-68 .未包含在G03F 1/20至G03F 1/50組中的制備工藝
G03F1-88 .通過制備具有模擬浮雕的原版的照相過程的制備
G03F1-90 .采用蒙太奇方法制備
G03F1-92 .從印刷表面制備

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