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主分類
A 農業
B 作業；運輸
C 化學；冶金
D 紡織；造紙
E 固定建筑物
F 機械工程、照明、加熱
G 物理
H 電學
分類號 描述
C 化學；冶金
C30 晶體生長
C30B 單晶生長
C30B31-00 單晶或具有一定結構的均勻多晶材料之擴散或摻雜工藝；其所用裝置
C30B31-06 .同氣態擴散材料接觸的
C30B31-08 ..擴散材料為被擴散元素之化合物的
C30B31-10 ..反應室；其所用材料的選擇
C30B31-12 ..反應室的加熱
C30B31-14 ..襯底夾持器或基座
C30B31-16 ..氣體供給或排出的裝置；氣流的變換
C30B31-18 ..控制或調節

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